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MEMS-Verkapselung unter Hoch-Vakuum mit Getter-Aktivierung
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Hochvakuumlötgerät für MEMS
Model
Heated/solder area
Tmax °C
ramp up rate
ramp down rate
Besonderheiten
MEMS-Verkapselung unter Hoch-Vakuum mit Getter-Aktivierung
100 mm für max. Adapter 14mm
450 °C
35 K/min
25 K/min
Adapteranpassung nach Kundenwunsch
MEMS-Verkapselung unter Hoch-Vakuum mit Getter-Aktivierung
200 mm für max. 6 Adapter 42 mm
450 °C
20 K/min
20 K/min
Adapteranpassung nach Kundenwunsch
© 2007-2012 UniTemp GmbH · Last Update: 17.04.2012 · 3 User online